1. 空気の圧縮と浄化

空気はエアフィルターを通して塵埃や機械的な不純物を除去された後、エアコンプレッサーに入り、必要な圧力まで圧縮された後、エアクーラーに送られ、空気温度が下げられます。その後、空気乾燥清浄機に入り、空気中の水分、二酸化炭素、アセチレンなどの炭化水素が除去されます。

2. 空気分離

精製された空気は空気分離塔内の主熱交換器に入り、還流ガス（製品窒素、排ガス）によって飽和温度まで冷却され、精留塔の底部に送られます。塔頂部では窒素が得られ、液体空気は絞られて精留塔の底部に送られます。凝縮蒸発器に入り蒸発すると同時に、精留塔から送られた窒素の一部を凝縮し、凝縮された液体窒素の一部は精留塔の還流液として使用され、残りは空気分離塔から製品液体窒素として排出されます。

凝縮蒸発器からの排気ガスは、主熱交換器によって約130Kまで再加熱され、膨張冷凍機に流入して膨張冷却され、空気分離塔の冷却能力を供給します。膨張したガスの一部は、分子ふるいの再生と冷却に使用され、その後マフラーから大気へ排出されます。

3. 液体窒素の気化

空気分離塔から排出された液体窒素は液体窒素貯蔵タンクに貯蔵されます。空気分離装置のオーバーホール時には、貯蔵タンク内の液体窒素が気化器に入り、加熱された後、製品窒素パイプラインに送られます。

極低温窒素製造では、純度 99.999% 以上の窒素を製造できます。

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